排列3大中小走势图

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雷尼绍读数头TONiC/TONiC UHV选型方案
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雷尼绍读数头TONiC/TONiC UHV选型方案
TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。
  雷尼绍读数头TONiC/TONiC UHV选型方案的详细资料:

雷尼绍读数头TONiC/TONiC UHV选型方案

什么是TONiC?

TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

栅尺选项

  • 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。
  • 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

      

镀金钢带

ZHACHIMINGCHENG

JINGDU

ZHAJU

REPENGZHANG

XISHU

ZHACHIZUIDAZHANGDU

DUSHUTOUJIANRONGXING

RGSZ/RGSN

排列3大中小走势图±15 µm/m

排列3大中小走势图20 µm

SHIYONGDUANYAKUAIGUDINGDAOJITI,BAOCHIYUJITIXIANGTONGDEREPENGZHANG

RUXUCHAOGUO50 mDEZHANGDU,QINGLIANXILEINISHAO

排列3大中小走势图TONiC、TONiC UHV

 带码道选项的不锈钢钢带

ZHACHIMINGCHENG

JINGDU

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REPENGZHANG

XISHU

ZHACHIZUIDAZHANGDU

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DAPEIKEXUANFASTRACK™DERTLC20

±5 µm/m

排列3大中小走势图20 µm

~10.6 µm/m/°C

10 m

TONiC、TONiC UHV

 ZeroMet™直线硬栅尺 

ZHACHIMINGCHENG

JINGDU

ZHAJU

REPENGZHANG

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DUSHUTOUJIANRONGXING

RELM/RELE

1 mNEIWEI±1 µm,YIHOU±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

1.5 m

TONiC、TONiC UHV

 不锈钢直线硬栅尺

ZHACHIMINGCHENG

JINGDU

ZHAJU

REPENGZHANG

XISHU

ZHACHIZUIDAZHANGDU

DUSHUTOUJIANRONGXING

排列3大中小走势图RSLM/RSLE/RSLC

排列3大中小走势图1 mNEIWEI±1.5 µm,

2 mNEIWEI±2.25 µm,3 mNEIWEI±3 µm,

5 mNEIWEI±4 µm

20 µm

~10.8 µm/m/°C

5 m

排列3大中小走势图TONiC、TONiC UHV

排列3大中小走势图 BUXIUGANGYUANGUANGZHA

ZHACHIMINGCHENG

KEHUAJINGDU(QUJUEYUYUANGUANGZHAZHIJING)

ZHAJU

REPENGZHANG

XISHU

YUANGUANGZHAZHIJING

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排列3大中小走势图RESM/REST/RESD

排列3大中小走势图±3.97ZHI±0.38JIAOMIAO

20 µm

17 μm/m/°C

 

52ZHI550 mm

 

TONiC、TONiC UHV

 高精度不锈钢圆光栅 

ZHACHIMINGCHENG

ANZHUANGJINGDU(QUJUEYUYUANGUANGZHAZHIJING)

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REXM/REXT

(≥100 mm直径)±1角秒
(75 mm直径)±1.5角秒
排列3大中小走势图(≤57 mm直径)±2角秒

20 µm

排列3大中小走势图17 μm/m/°C

排列3大中小走势图 52ZHI417 mm

TONiC、TONiC UHV

 

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